SURPASS SYSTEM

半導体製造成膜プロセスにおける最新PVD装置となります。
先進的な装置構成とソフトウェアで、量産に最適な装置です。

　●AMAT ENDURAと同等の性能を実現
　●使いやすいインターフェースにカスタマイズ可能なソフトウェア

ENDURA　冷却水継手SUS化

各種継手ぼ材質は真鍮製なので、劣化等により各工場で水漏れが発生しております。
そこですべての真鍮製部品をSUS化することで、より長く装置を安心してお使い頂けるようご提案します。

　●約1Weekで作業完了致します。数回に分けての作業も可能です。
　●部分的なSUS化の対応も当然可能です。

ENDURA HP Pivot Bearing取り付け構造改良

Robot Blade部、HP Pivot の締付け不足や締付け過多により、ロボット動作不良や早期摩耗・損傷を起こします。

　●純正品Pivot Cover加工＋専用Parts組み込み
　●HP＋Robotの場合は対象となりません。

ENDURA HP＋Pivot Bearing圧入

Robot Blade部のHP＋PivotはAssy販売となっており、非常に高価な部品なので定期O/H時の費用が高くなります。そこで圧入されたBearingのみを交換することにより費用を抑えることが可能となります。

　●ギア部が摩耗している場合はAssy交換となります
　●HP Robotの場合は対象となりません。

ENDURA　Buffer/Transfer Wide Port Lid

従来のLidではBlade上のWafer位置を目視で確認が出来ないので、搬送トラブルの際の確認作業に時間を要しておりました。
そこで容易に目視確認が出来るWide Portをご提案致します。

　●取り付けに特殊な加工や改造は必要ありません
　●Wafer Sensorの付替えのみで取り付け可能です

NDURA Neslab比抵抗計代替品

長年使用していますNeslab比抵抗計は、表示不良だったり、機器が壊れていたりと管理が出来ない状況になっております。
そこで代替品として今後もお使い頂ける商品をご提案します。

　●約3時間で取り付け動作確認が完了
　●Neslab上に設置可能なコンパクト設計

ENDURA　コンパクトフラッシュ（CF）Unit

ENDURAに搭載されているフロッピーディスク（FD）は現在製造中止となっております。
今後も安心してご使用頂く為に、FDに替わりコンパクトフラッシュ（CF）に置き換えるための変換機器/アダプターをご提案致します。

　●操作方法はFDDと全く同じです。
　●アクセススピードが速いため、データバックアップ時間が大幅短縮

ENDURA　SSD Unit（SCSI）

ENDURAに搭載されているHDDは、老朽化により故障のリスクが高くなります。
今後も安心してENDURAをご使用頂くために延命化として、HDDに替わりSSD（SCSI）に置き換えるためのUnitをご提案します。

　●装置への取り付け・コピー作業対応致します。
　●AAD化することでUnitの耐久性UP

ENDURA ステッピングモータドライバ

ENDURA ステッピングモータドライバにつきまして、オリジナル（オリエンタルモーター製）が生産中止となっています。
その置き換えとして、取付・性能互換性のあるドライバをご提案します。

　●配線順番はオリジナルとコンパチになります。
　●ロータリースイッチおよびディップスイッチの設定値もオリジナルと同　　じ値でお使い頂けます。

ENDURA 　一体型液晶タッチパネル

半導体製造装置には現在も多くのCRT（ブラウン管）モニターが使用されています。
しかしその多くは老朽化していて、また環境上の問題からCRTの入手そのものが困難な状況となっています。
そこでCRTモニターに置き換わる一体型液晶タッチパネルモニターをご提案します。